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環(huán)控產品

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APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)

產品優(yōu)勢

■可配置液體或氣體樣品;

■可實現(xiàn)標樣加濕功能;

■兩級高精度MFC控制;

■稀釋比高;

■全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt;

■可針對不同用戶的稀釋要求定制產品。

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原理概述

    APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng),是一款具有高精度高稀釋比的升級產品,可稀釋2到15種不同氣體,稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產商,半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究??筛鶕?jù)用戶要求定制。

    特點:

    苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;

    帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

    高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準

    可選配液體標樣稀釋模塊

    功能:

    1、單一/混合氣體配制

    通過質量流量控制器(MFC)順序連接兩種或多種標準氣體,如順序稀釋或產生混合氣體??梢詥为毾♂尪喾N標準氣體,也可以通過同時稀釋多種的標準氣體來產生混合氣體。

    2、蘇瑪罐罐沖

    該系統(tǒng)配備了壓力傳感器,以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。

    3、控制溫度和濕度

    自動調節(jié)溫度和濕度,在各種條件下連續(xù)產生氣體。

    4、液體標樣氣化稀釋

    可選配液體標樣稀釋模塊

    5、顆粒物發(fā)生裝置

    可選配顆粒物發(fā)生裝置,模擬各種工況

    以上功能均可根據(jù)客戶實際需求組合定制。

    應用:

    傳感器生產商

    半導體生產商

    科研院所

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